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STM脉冲电压极性对材料微细加工影响的研究

Influence of Pulse Polarity on Nano-Machining of Scanning Tunneling Microscope

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【作者】 曾志刚严学俭邱伟民沈淼张莉朱国栋华中一

【Author】 Zeng Zhigang,Yan Xuejian~*,Qiu Weimin,Shen Miao,Zhang Li,Zhu Guodong and Hua Zhongyi (Department of Materials Science,Fudan University,Shanghai,200433,China)

【机构】 复旦大学材料科学系复旦大学材料科学系 上海200433上海200433

【摘要】 利用扫描隧道显微镜(STM)可对不同材料表面进行纳米级微细加工。在选取高定向裂解石墨(HOPG)和有机电双稳材料Ag-TCNQ分别进行直接刻蚀和电学改性的研究中,发现STM脉冲电压极性对实验结果有影响。本文为此构建了物理模型,分析表明在不同极性的脉冲电压下,分别主要呈现电场效应或电子轰击效应。需要针对具体材料的具体加工要求,选择STM相应的脉冲电压极性。

【Abstract】 Nano-machining of highly orientated pyrolitic graphite(HOPG) and Ag-TCNQ-an organic electrical bistable material-was performed with a scanning tunneling microscope(STM)in our study of lithography.We found that the pulse polarity applied to the STM significantly affects the nanostructures fabricated.Possible mechanisms,such as electron heating,electron tunneling and field emission,were tentatively proposed and discussed.

【关键词】 STM刻蚀与改性极性脉冲电压
【Key words】 STMLithography and modificationPolarityPulse voltage
  • 【文献出处】 真空科学与技术学报 ,Chinese Journal of Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,2006年02期
  • 【分类号】TG661
  • 【被引频次】3
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