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光学非球面柔性抛光表面粗糙度的研究

Study of Roughness of Aspheric Surface by Flexible Polishing

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【作者】 张峰杭凌侠陈智利

【Author】 ZHANG Feng,HANG Ling-xia,CHEN Zhi-li(School of Optoelectronic Engineering,Xi’an Insititute of Technology,Xi’an 710032,China)

【机构】 西安工业学院光电工程学院西安工业学院光电工程学院 西安710032西安710032

【摘要】 为了研究FRP-1型非球面柔性抛光机加工非球面零件的可行性,利用FRP-1型非球面柔性抛光机对非球面光学零件进行抛光实验.采用单因素工艺研究法对抛光机的工件轴转速、非球面工件的口径和其最接近圆曲率半径等工艺参数对表面粗糙度的影响进行了分析.实验表明提高工件轴转速可提高抛光效率,且抛光小口径大曲率工件的效率要优于大口径小曲率的工件.在上述研究基础上对K9玻璃材料的非球面工件进行抛光实验,60 min后工件的表面粗糙度由最初的Ra150 nm收敛到Ra8.55 nm.利用FRP-1型非球面柔性抛光机对非球面光学零件进行抛光效果良好能够满足非球面光学零件的加工精度的要求.

【Abstract】 The feasibility of a spheric polishing by FRP-1 flexible polishing machine is proved by experiments.Aspheric polishing is experimented with FRP-1 flexible polishing machine.The dependence of the roughness and the speed of workpiece spindle,diameter and curvature of workpiece is studied and analyzed by the method of single factor experiments.The roughness could be influenced by the three factors.The polishing practicability of the machine is verified.The roughness of the experimented piece has decreased to Ra 8.55 nm from initial Ra 150 nm after polishing for 60 min.Aspheric polishing on FRP-1 flexible polishing machine can satisfied the corresponding precision demand.

【基金】 陕西省教育厅重点科研项目(02JS30)
  • 【文献出处】 西安工业大学学报 ,Journal of Xi’an Technological University , 编辑部邮箱 ,2006年02期
  • 【分类号】TG84
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】330
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