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金刚石声表面波器件的研制

Analysis and preparation of SAW devices on diamond

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【Author】 XU Sheng,CHEN Xi-ming,YANG Xiao-ping,YANG Bao-he(Department of Optical Electronic Information and Electronic Engineering,Tianjin University of Technology,Tianjin 300191,China)

【机构】天津理工大学光电信息与电子工程系；天津理工大学光电信息与电子工程系天津300191；天津300191；

【摘要】对ZnO/IDT/金刚石多层结构高频声表面波滤波器进行模拟设计、样件制备和测量.利用热丝化学气相沉积方法,在抛光S i基底沉积致密、光滑的CVD金刚石膜;采用磁控溅射法在金刚石薄膜上制备C轴取向的氧化锌压电薄膜.研制的ZnO/IDT/金刚石/硅结构SAW滤波器,叉指换能器(IDT)指宽1.7μm,SAW滤波器频率达到1.4 GHz.更多还原

【Abstract】 This paper presents the frequency response simulation,preparation and measurement of surface acoustic wave(SAW) filters based on ZnO/IDT/diamond multilayered structures for high frequency communication system.We deposited diamond by HR-CVD on silicon,and deposited high C-axis oriented ZnO by RF-sputtering on diamond.Based on the same IDT structure(interdigital width is 1.7μm),the frequency response simulation results are got.The center frequency of ZnO/diamond/Si structures can reach to 1.4 GHz.更多还原

【关键词】声表面波；多层膜结构；金刚石薄膜；氧化锌压电薄膜；
【Key words】 SAW； multilayered structures； diamond film； ZnO piezoelectricity films；

【基金】国家自然科学重点基金(60276001);天津市自然科学基金(033700611);天津市高等学校科技发展基金(20030521)

【文献出处】天津理工大学学报 ,Journal of Tianjin University of Technology , 编辑部邮箱 ,2006年01期

【分类号】TN65
【被引频次】8
【下载频次】265

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