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耦合状态等离子体高频电源特性

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【作者】 谭凯； 曹琪； 杜凯；

【机构】 哈尔滨学院理工学院； 哈尔滨学院理工学院 黑龙江哈尔滨150086； 黑龙江哈尔滨150086；

【摘要】 根据实验,观察耦合状态等离子体高频电源的工作特性,讨论了在装置中形成的等离子体,对装置的反作用与装置固有条件的综合效果,制约着等离子体的行为和量子效应。

【关键词】 射频等离子体； 高频等离子体电源； 飞行时间谱仪； 射频催化； 虚拟非对称晶格；
【基金】 黑龙江省教育厅2004年科学技术研究项目(10543063)
  • 【文献出处】 绥化学院学报 ,Journal of Suihua University , 编辑部邮箱 ,2006年02期
  • 【分类号】O452
  • 【被引频次】1
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