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低温半导体机械传感器

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【作者】 李刚； 李旭； 朱雪； 陈宝忠；

【机构】 辽宁石油化工大学机械工程学院； 巴陵石化有限公司烯烃厂事业部； 辽宁石油化工大学机械工程学院 辽宁 抚顺 113001； 辽宁 抚顺 113001； 湖南 岳阳 414001；

【摘要】 根据硅和锗体微晶形成的半导体在-100℃-20℃的温度区间内电与压敏电阻特性关系,半导体微晶体压敏电阻特性而研制的机械传感器可以应用于低温下相应的技术数据测量方面：高灵敏度的应变计,低温设备的压力传感器。

【关键词】 机械传感器； 压敏电阻； 低温介质；
  • 【分类号】TP212.12
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