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钛酸锶铅铁电薄膜的制备、应用及其研究进展

The Preparation,Applications and Research Progress of Pb_xSr_1-xTiO₃ Ferroelectric Thin Film

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【Author】 PEI Ya-fang,YANG Chuan-ren,CHEN Hong-wei,ZHANG Ji-hua,LENG Wen-jian(State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology of China,Chengdu 610054,China)

【机构】电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室；电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室成都610054；成都610054；

【摘要】综述了钛酸锶铅(PST)铁电薄膜目前最常用的4种制备工艺:溶胶-凝胶(Sol_gel)法、磁控溅射(Magnetron Sput-tering)、脉冲激光沉积(PLD)和金属有机化学气相沉积(MOCVD),并简要介绍了PST目前的研究进展以及PST薄膜在铁电移相器、动态随机存储器(DRAM)和热释电红外探测器方面的应用,提出了发展展望。更多还原

【Abstract】 The progress of the research on the ferroelectric thin film of lead strontium titanate,as well as its four preparation methods,such as Sol-Gel,magnetron sputtering,PLD and MOCVD,and its applications in phase shifter,DRAM,pyrolectric infrared sensor,are presented.更多还原