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离子注入机中行星传动扫描靶的设计

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【摘要】 将行星传动机构应用于离子注入机中,使得受注物体受注均匀,明显提高了产品的表面质量。

【关键词】 离子注入机行星传动
  • 【文献出处】 机械工程师 ,Mechanical Engineer , 编辑部邮箱 ,2006年06期
  • 【分类号】TB79
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