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基于模糊规则的半导体生产线队列排序算法  
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【英文篇名】 New algorithm for VLSI production sequencing problems based on fuzzy rule
【下载频次】 ★★☆
【作者】 王令群; 郑应平; 潘石柱;
【英文作者】 WANG Ling-qun; ZHENG Ying-ping; PAN Shi-zhu(Dep.of Control Sci.& Eng.; Tongji Univ.; Shanghai 200092; China);
【作者单位】 同济大学控制科学与工程系; 同济大学控制科学与工程系 上海;
【文献出处】 计算机集成制造系统 , Computer Integrated Manufacturing Systems, 编辑部邮箱 2006年 02期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【中文关键词】 半导体生产线; 多目标; 模糊规则;
【英文关键词】 semiconductor manufacturing line; multi-object; fuzzy rule;
【摘要】 为提高芯片的成品率、按期交货率和机器利用率,以及减少平均加工时间,提出了一种工件排序的算法。在该算法中,为提高机器利用率和减少工件平均加工时间,采用了通过排序减少瓶颈机器切换时间的方法;为提高芯片的成品率,引入一时限参数,避免工件在加工过程中因在空气中暴露时间过长而氧化作废;为确保按期交货,在调度过程中运用模糊规则方法确定工件在队列中的具体位置。实验表明,该算法可明显提高产品的成品率,其总体性能优于其他常用算法。
【英文摘要】 In order to improve finished products rate of chips,on-time consignment rate,machines utilization rate and to reduce average production time,a jobs-queue algorithm was presented.With this algorithm,switch time among bottleneck machines were reduced by queuing so as to increase machine utilization rate and reduce average production time.To improve finished products rate of chips,a parameter was introduced to ensure that the jobs would not be oxidized to damage due to long time exposure in air during producti...
【基金】 国家自然科学基金资助项目(20002CB312202-03,60374005,60343002)。~~
【更新日期】 2006-03-23
【分类号】 TN305
【正文快照】 0引言半导体制造业属于技术高、投入高、收益高、风险大、更新快的高技术产业,其主要产品是集成电路。在半导体生产中,瓶颈机器价格昂贵(1台光刻机大约为10亿美元),因而不可能对每个需要这种机器的步骤都配备1台这种机器,只能让工件在加工过程中重复访问这些机器,使得生产线具?

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