节点文献

傅里叶变换存储光刻系统的研制

The develop of Fourier storage photolithography system

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具,请取消加速工具后下载。

【作者】 浦东林; 陈林森; 解剑锋; 沈雁;

【Author】 PU-Dong-lin,CHEN-Lin-sen,XIE Jian-feng,Shen Yan(Information Optics Engineering Institute,Suzchou University,Suzhou 215006,China)

【机构】 苏州大学信息光学工程研究所; 苏州大学信息光学工程研究所 苏州215006; 苏州215006;

【摘要】 研制了一种傅里叶变换存储光刻系统,为在光刻胶干版上进行傅里叶变换存储研究提供了一种有效的工具。系统采用空间光调制器作为图像输入,能够对图像进行空间、角度复用自动记录傅里叶全息图。由于曝光时间达到毫秒级,记录过程对振动不敏感,不需要防震全息台。系统输入图像的条纹最高空间频率为每毫米19线对,记录频率达每分钟10次。

【Abstract】 A digital Fourier transform holographic storage system has been developed for recording the data on photoresist plate.It is an efficient tool on the research of Fourier transform storage with angle multiplexing or spatial multiplexing on photoresist plates automatically.The system can be run in the normal circumference and has the low-vibration sensitive feature due to the very shot exposure rates.The space frequency of input image can be up to 19 lines pairs/mm and 10 images can be recorded in every minute.

【基金】 江苏省数码激光图像工程中心基金资助
  • 【分类号】TN305.7
  • 【下载频次】104
节点文献中: 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络