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粉末溅射平面薄膜型SnO2／CeO2酒敏元件

Powder Sputtering Plane Thin-film SnO2/CeO2 Alcohol Sensor

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【作者】 刘晓健； 曲鲁； 李东华； 卫东； 裘南畹；

【Author】 LIU Xiao-jian ,QU Lu,LI Dong-hua ,WEI Dong, QIU Nan-wan ( Jinan Semicondactor Institute,Jinan 250014,China; Shandong University, Jinan 250061 ,China)

【机构】 济南半导体研究所； 山东大学 山东 济南 250014； 山东 济南 250014； 山东 济南 250061；

【摘要】 介绍了用粉末溅射做出的两种平面薄膜型酒敏元件的工艺、芯片结构和基本参数测试的结果。

【Abstract】 The technics of two kinds of thin film gas sensors made by powder sputtering are introduced. The structure and the experimental results of basic parameters are given in this paper.

【关键词】 粉末溅射； 薄膜； 酒敏元件；
【Key words】 powder sputter； thin film； alcohol sensor；
  • 【文献出处】 计测技术 ,Metrology & Measurement Technology , 编辑部邮箱 ,2006年S1期
  • 【分类号】TP212
  • 【被引频次】1
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