节点文献

基于自治与协调的半导体晶圆制造系统实时派工方法

Autonomy & Coordination-based Real-time Dispatching Methodology for Semiconductor Wafer Fabrication System

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具,请取消加速工具后下载。

【作者】 江志斌张怀刘惠然

【Author】 JIANG Zhi-bin,ZHANG Huai,LIU Hui-ran(Dept.of Industrial Engineering & Management,Shanghai Jiao Tong University,Shanghai 200240,China)

【机构】 上海交通大学工业工程与管理系上海交通大学工业工程与管理系 上海200240上海200240

【摘要】 提出一种基于自治与协调的实时派工机制,并在此基础上研究面向瓶颈设备的实时派工算法,该算法针对瓶颈设备动态漂移的特性,根据不同的状态阈值采用不同的派工规则以进行控制。通过基于拓展型面向对象Petri网仿真平台的实验证明,该算法在绩效水平上优于其他两种算法。并且采用响应曲面法和期望函数对仿真结果进行优化,以获得更好的系统绩效。

【Abstract】 A novel autonomy & coordination-based real-time dispatching mechanism(A&C-RDM) is proposed in this paper.An A&C-RDM-based dynamic real-time bottleneck dispatching(DBD) algorithm is designed to detect bottlenecks in a timely way and make adaptive dispatching decisions according to the real-time conditions.Several simulation experiments are performed on extended object-oriented Petri net platform,and the results show that the A&C-DBD algorithm is superior to the other two methods on system performance.Response surface methodology and desirability function are used to optimize simulation for better system performance.

【基金】 国家自然科学基金资助项目(50475027);高等学校博士学科点专项科研基金资助课题(20040248052)
  • 【文献出处】 工业工程与管理 ,Industrial Engineering and Management , 编辑部邮箱 ,2006年06期
  • 【分类号】TN305
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】228
节点文献中: 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络