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太阳能级硅粉在等离子体中纯化研究  
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【英文篇名】 A study of purity of solar-grade silicon powder in plasma
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【作者】 陈政强; 王敬义; 陶甫廷;
【英文作者】 CHEN Zheng-qiang~1; WANG Jing-yi~2; TAO Fu-ting~1(1.Guangxi University of Technology; Liuzhou 545006; China; 2.Huazhong University of Science and Technology; Wuhan 430074; China);
【作者单位】 广西工学院电子信息与控制工程系; 华中科技大学电子科学与技术系; 广西工学院电子信息与控制工程系 广西柳州; 湖北武汉; 广西柳州;
【文献出处】 广西工学院学报 , Journal of Guangxi University of Technology, 编辑部邮箱 2006年 02期  
期刊荣誉:ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 太阳能级硅; 等离子体纯化; 粉粒表面刻蚀; 鞘区离子动能;
【英文关键词】 solar-grade silicon powder; plasma purity; surface etching of particulate; kinetic energy in sheath;
【摘要】 给出了本研究中所采用工业硅的要求和太阳电池功率高达14%的P型硅材料中单一杂质的阀值。针对太阳能级硅的纯化要求和工业硅的特性,提出了等离子体对硅粒“刻蚀提纯”的新概念。增加鞘层厚度将使硅粉浸泡于高动能离子中的几率增加,钝化效应消失从而达到提高纯化速率的目的。所研制的新型纯化系统能够满足硅粒自旋、长沉降时间和重复纯化的条件,所给出的工艺参数能满足鞘层宽、离子浓度高的要求。实验结果显示这种新的提纯方法可望用于太阳能级硅的制备。
【英文摘要】 The requirements of raw materials(MG-Si) used in this study and the thresholds of single impurity in P-type solar cells up to 14% efficiency are given in the paper.The new conception of plasma etching purity for silicon particulates is put forward which is directed against the purity requirements of solargrade silicon and the characteristics of MG-Si.The immersing possibility of silicon in high energy ions will be increased,and the passivation effect will be eliminated as a result of the sheath thickening.T...
【基金】 国家自然科学基金资助项目(10265002)
【更新日期】 2006-08-15
【分类号】 TM914.4
【正文快照】 0前言从上世纪80年代发现冷等离子体的纯化效应(冶金效应)以来,先后借助多项国家自然科学基金的资助对其进行研究,对于其机理逐步有了更深入的了解[1]。对于放置在阴极上的硅粉进行了提纯研究并取得一定的效果[2]。考虑到冶金效应要能转化成实用的提纯技术,粉粒在等离子体中沉?

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