【作者】 戴丽娟； 冯涛； 蒋军； 王曦； 柳襄怀； 李琼； 张峰；

【Author】 DAI Li-juan~1,FENG Tao~1,JIANG Jun~1,WANG Xi~1,LIU Xiang-huai~1,LI Qiong~2,ZHANG Feng~1(1.Research Center of Functional Semiconductor Film Engineering & Technology,Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology,Chinese Academy of Sciences,Shanghai,200050,CHN;2.Department of Electronics Science and Technology,East China Normal University,Shanghai,200062,CHN)

【机构】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所半导体功能薄膜工程技术研究中心； 华东师范大学电子科学与技术系； 中国科学院上海微系统与信息技术研究所半导体功能薄膜工程技术研究中心 上海200050； 上海200050； 上海200062；