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纳米长度测量的标准化研究

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【作者】 盛克平； 何宝林； 杨伟浩；

【机构】 上海市计量测试技术研究院； 上海市计量测试技术研究院 上海200233； 上海200233；

【摘要】 本文从纳米测量的标准化文件、标准物质、测量不确定度的评定三个方面简述了有关纳米长度测量方法的标准化概况及国内外的进展。1纳米测量的标准化文件在纳米长度测量方面,目前使用比较重要的仪器和相应的标准文件如表1。表1纳米长度测量仪器及相关的标准仪器名称测量范围检测方法所依据的技术标准扫描电子显微镜(SEM)10nm~100μmJJG 550-88扫描电子显微镜检定规程JJG(教委)分析型扫描电子显微镜检定规程JB/T 6842-93扫描电子显微镜试验方法JY/T 010-1996《分析型扫描电子显微镜方法通则》DB31/T 297-2003上海市地方标准《扫描电子显微镜放大倍率校准方法》ISO 16

【关键词】 长度测量； 扫描电子显微镜； 放大倍率； 测量不确定度； 原子力显微镜； 地方标准； 检定规程； 激光粒度仪； 计量测试技术； 粒度分布；
  • 【文献出处】 电子显微学报 ,Journal of Chinese Electron Microscopy Society , 编辑部邮箱 ,2006年S1期
  • 【分类号】TH742
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