采用法拉第杯评价ESEM的电荷环境

【摘要】 采用环境扫描电镜(ESEM),非导体及含水样品不经过表面喷金或喷碳处理就能直接观察[1]。在ESEM样品室中,电子-离子-样品相互作用,构成了一个复杂的动态电荷环境:入射电子(PE),二次电子(SE)、背散射电子(BSE)受到气体的散射作用;气体分子被PE、SE、BSE电离产生正离子流向样品表面运动,并与电子中和[2];离子场对SE的场助发射作用等。因此测量及评价ESEM的电荷环境,可为消除荷电效应,或利用荷电效应成像[3,4]提供依据。本项目采用高灵敏度的pA-电流表,在高真空(HV)和环境真空(ESEM)中,测量法拉第杯的样品电流(ISP),评价ESEM样品室内的电荷环境。1实验装置及测量更多还原