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无酸水热法制备多孔硅

Preparation of Porous Silicon by Non-Acid Hydrot hermal Method

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【作者】 朱利兵唐元洪胡爱平林良武

【Author】 ZHU Li-bing, TANG Yuan-hong, HU Ai-ping, LIN Liang-wu (College of Material Science and Engineering, Hunan University, C hangsha 410082, China)

【机构】 湖南大学材料科学与工程学院湖南大学材料科学与工程学院 长沙410082长沙410082

【摘要】 报道一种在无酸性腐蚀液的条件下用反应釜制备多孔硅的新方法。实验采用扫描电镜、拉曼光谱和光致发光谱对样品表面形貌、结构及发光性能进行表征,并与用常规电化学阳极氧化法制出的多孔硅进行了对比研究,研究结果表明用无酸水热法制出的多孔硅表面平整,孔的形状规则,发光效能提高更多。

【Abstract】 This article has reported a new method to prepare porou s silicon by using raction kettle without corrosive acid. SEM, Raman and PL spec trum were adopted to characterize the surface , structure and photoluminescence property of samples. In comparison with those prepared by anodising p type silic on, the porous silicons prepared by non-acid hydrothermal method have smooth su rface , regular shape of pores , and higher PL efficiencey.

  • 【文献出处】 电子器件 ,Chinese Journal of Electron Devices , 编辑部邮箱 ,2006年02期
  • 【分类号】TN304.05
  • 【被引频次】4
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