节点文献

聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关的优化设计

Optimized Design for a PI-Cantilever Electromagnetic Actuation MOEMS Optical Switch

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具,请取消加速工具后下载。

【作者】 孔庆峰梁静秋钟砚超侯凤杰李佳孙德贵

【Author】 KONG Qing-feng~ 1,2 ,LIANG Jing-qiu~ 1,2* ,ZHONG Yan-chao~ 1,2 ,HOU Feng-jie~ 1,2 ,LI Jia~ 1,2 ,SUN De-gui~1 1. State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130031, China 2.Graduate School of Chinese Academy of Science, Beijing 100039,China

【机构】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室吉林长春130031中国科学院研究生院北京100039应用光学国家重点实验室

【摘要】 利用聚酰亚胺(PI)优良的机械、绝缘、耐热等性能,设计出基于PI膜的磁控光开关.给出合理的线圈宽度与间隙宽度,提出了八边形的线圈绕组结构,计算得出PI膜悬臂梁光开关驱动电压与工作距离的关系,并对悬臂梁长度、宽度、厚度进行优化.在驱动电压为2V时,自由端位移达到2mm.

【Abstract】 A kind of electromagnetic actuation optical switch is designed based on the high performance of polyimide (PI) in mechanical character, insulation and heat-resistant . We analyzed the winding configuration and chose the regular octagon form and also studied the relationship between the driving voltage and working distance about the PI-cantilever, which aimed at optimizing the structure of the PI-cantilever in length, width and thickness. At a driving voltage of 2V, the movable part got a displacement of 2 mm.

【基金】 国家自然科学基金资助(60578036);中科院"优秀博士学位论文、院长奖获得者科研启动专项资金"资助
  • 【文献出处】 传感技术学报 ,Chinese Journal of Sensors and Actuators , 编辑部邮箱 ,2006年05期
  • 【分类号】TN253
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】123
节点文献中: 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络