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一种硅微机械陀螺小信号检测电路的设计
Design of a signal detection circuit of silicon micromachined gyroscope
【摘要】 微弱输出信号的检测是微机械陀螺接口电路设计中的关键技术。针对旋转载体驱动硅微机械陀螺的振动特性,给出了一种适用于微弱电容变化量的小信号检测电路。信号经过差分放大之后,设计了一种适合该陀螺特点的带通滤波器,并对该电路的幅频特性和相频特性进行了分析。实验结果表明,该电路能有效敏感电容变化量,陀螺接口电路能检测到10-3pF量级的电容变化,最小分辨率可以达到0.1°/s。
【Abstract】 A kind of weak output signals detection circuit is presented for micromachined gyroscope driven by carrier.This circuit is based on the vibration characteristics of micromachined gyroscope.By using different amplifiers,a band-pass filter is designed and the AC characteristics of this circuit is analyzed.The final tests show that this circuit can sense the capacitance about 10-3pF level,the minimal resolution reaching 0.1°/s.
【关键词】 硅微机械陀螺;
差动电容;
频率特性;
【Key words】 silicon micromachined gyroscope; differential capacitance; frequency characteristics;
【Key words】 silicon micromachined gyroscope; differential capacitance; frequency characteristics;
【基金】 国家自然科学基金项目(60472011);北京市传感器重点实验室项目(53062017)
- 【文献出处】 北京机械工业学院学报 ,Journal of Beijing Institute of Machinery , 编辑部邮箱 ,2006年04期
- 【分类号】V241.5
- 【被引频次】5
- 【下载频次】286