节点文献
扭臂式静电微驱动器的pulli-n现象分析
Pull-in Phenomena Analysis of ElectrostaticMicro-Actuator with Torsion Heam
【摘要】 从扭臂式微驱动器模型出发,分析了器件在静电驱动条件下pulli-n现象的产生条件,并给出公式化结果。讨论了器件的几何结构参数对于pulli-n现象的影响,并对具体结构的器件给出了pulli-n角度和pulli-n电压等方面的分析结果。对于特定的扭臂结构,pulli-n角度为悬臂梁最大扭转角度的44.04%,且与扭臂的结构参数无关。
【Abstract】 A model of a micro-actuator with torsion beam,and the analytical formulae are derived for analysis of pull-in phenomena.The effect of the structural parameters on pull-in phenomena is discussed,and analytical results are given for the certain device.The ratio of pull-in angle to the maximum travel angle is 44.04%,and which is not correlative with the parameters of torsion beam.
【关键词】 微驱动器；
静电驱动；
扭臂；
pulli-n现象；
【Key words】 micro-actuator； electrostatically actuated； torsion beam； pull-in phenomena；
【Key words】 micro-actuator； electrostatically actuated； torsion beam； pull-in phenomena；
【基金】 跨世纪优秀人才培养计划基金、吉林省科技发展计划资助项目(20010319);国家科技部“863计划”资助项目(2002AA312020);吉林大学研究生创新基金资助项目(501038)
- 【文献出处】 微纳电子技术 ,Micronanoelectronic Technology , 编辑部邮箱 ,2006年05期
- 【分类号】TH703
- 【被引频次】3
- 【下载频次】108