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透射电子显微镜对接膜样品的制作

Fabrication of TEM Samples of Butted Films PLD

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【Author】 WANG Zhao-yang,Zhang He-qiu,HU Li-zhong,ZHAO Jie,WANG Zhi-jun(State Key Laboratory for Materials Modification by Laser,Ion,Electron Beams,Department of Physics,Dalian University of Technology,Dalian 116024,China)

【机构】大连理工大学物理系三束材料改性国家重点实验室；大连理工大学物理系三束材料改性国家重点实验室辽宁大连116024；辽宁大连116024；

【摘要】在透射电子显微镜(TEM)样品制作中,对接膜样品制作最为复杂,同时得到的薄膜信息也非常多,是进行材料研究的一个非常有用的观测方法。并介绍了这种样品的制作过程和样品的测试分析情况。更多还原

【Abstract】 In the TEM samples,the fabrication of butted films is the most complex.At the same time,the most information can be obtained.So this is a very usable method in the research of materials.The process of the butted films and the measurement and analysis of this method are introduced.更多还原

【关键词】透射电子显微镜；高分辨率透射电子显微镜；选区电子衍射；
【Key words】 TEM； high-resolution TEM； selected area electron diffraction；

【基金】国家自然科学基金(60377005);辽宁省科学技术基金(20022133)

【文献出处】半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,2006年01期

【分类号】TB43
【被引频次】3
【下载频次】489

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