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射频辉光放电等离子体化学气相沉积类金刚石膜的性能研究

Studies of Property of Diamond-like Films by RF-PCVD

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【Author】 Chen Ling,Liu Zhengyi,Qiu Wanqi,Huang Yuansheng (College of Mechanical Engineering,South China University of Technology,Guangdong Guangzhou,510640,China) Liu Tielin,Ouyang Guangsheng (Shenzhen Leidi Science & Technology Ind.Co.,Ltd.Shenzhen,518048,

【机构】华南理工大学机械工程学院；深圳市雷地科技实业有限公司；深圳市雷地科技实业有限公司广州510640；广州510640；深圳518048；深圳518048；

【摘要】用自行设计的RF PCVD(射频辉光放电等离子体化学气相沉积 )设备沉积类金刚石膜 ,并对膜的力学、光学、化学性能进行了分析。表明用该设备制备的类金刚石膜具有显微硬度高、磨擦系数小、膜基结合力高、对红外有良好的增透性 ,并且耐磨耐蚀、化学稳定性好。更多还原

【Abstract】 The Diamond like Carbon (DLC) films were grown by RF PCVD.The mechanical,optical and chemical properties were analyzed.The result shows that the DLC films have a high hardness,low friction coefficient,good adhesion,high infrared transparency and chemical inertness.更多还原

【关键词】类金刚石膜；射频辉光化学气相沉积；性能；
【Key words】 Diamond like carbon films； RF PCVD； Properties；

【基金】国家教委博士点基金资助项目 (No.19990 5 612 1);广东省自然科学基金资助项目 (No.990 5 48)

【文献出处】真空科学与技术 , 编辑部邮箱 ,2002年05期

【分类号】TN304.055
【被引频次】4
【下载频次】250

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