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微型磁通门传感器研究的现状与未来发展

Present and Future of Micro-Fluxgate Sensors Development

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【摘要】 叙述微型磁通门传感器研究的现状 ,介绍微型磁通门传感器的结构和加工工艺 ,比较不同类型微型磁通门的差异 ,探讨微型磁通门传感器研究的发展方向

【Abstract】 The present status of micro fluxgate sensors are recounted at first in this paper.Then,the structures and processing technology of micro fluxgate sensors are introduced.The differences between dissimilar kinds of micro fluxgate sensors are compared.At last,the development of micro fluxgate sensors in the future are discussed.

【关键词】 微型磁通门传感器MEMS
【Key words】 Micro fluxgate Sensor MEMS
  • 【文献出处】 遥测遥控 ,Telemetry & Telecontrol , 编辑部邮箱 ,2002年04期
  • 【分类号】TP212
  • 【被引频次】32
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