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电子束缩小投影曝光机对准模拟软件应用

Application of Alignment Simulation Software for PELDI

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【作者】 史强； 靳鹏云； 张福安；

【Author】 SHI Qiang,JIN Peng yun,ZHANG Fu an (Institute of Electrical Engineering,Chinese Academy of Science,Beijing 100080,China)

【机构】 中国科学院电工研究所； 中国科学院电工研究所 北京100080； 北京100080； 北京100080；

【摘要】 介绍了用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件及标记图形 ,模拟出标记对准的背散射信号 ,并与实际实验信号图形进行了对比。

【Abstract】 The alignment simulation software for PELDI and the mask image are designed and described.The BSE signals of the alignment mask are simulated and compared with the practical experimental results.

【关键词】 对准技术； 标记对准模拟软件； 电子束缩小投影曝光机；
【Key words】 alignment technology； software of alignment simulation； PELDI；
  • 【文献出处】 微细加工技术 ,Microfabrication Technology , 编辑部邮箱 ,2002年03期
  • 【分类号】TN305.7
  • 【下载频次】27
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