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三氧化钼薄膜的制备和结构研究

Preparation and Structure Study Molybdenum Oxide Thin Films by Sol-Gel Process

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【作者】 孙杰兵熊锐王世敏汤五丰石兢田德诚

【Author】 SUN Jie\|bing 1, XIONG Rui 1, WANG Shi\|min 2, TANG Wu\|feng 1, SHI Jing 1, TIAN De\|cheng 1 (1.School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan, 430072, China; 2. Faculty of Chemistry and Materials Science, Hubei University, Wuhan, 430062

【机构】 武汉大学物理科学与技术学院湖北大学化学与材料学院武汉大学物理科学与技术学院 湖北武汉430072湖北武汉430072湖北武汉430062湖北武汉4300

【摘要】 采用溶胶 凝胶法成功制备了三氧化钼 (MoO3)薄膜 .首先 ,以CH3COCH2 COCH3,MoO3,C6 H5CH3和HOCH2 CH2 OCH3为原料合成三氧化钼溶胶和凝胶 .凝胶的热重和差热分析 (TG DTA)显示三氧化钼的晶化出现在5 0 8℃附近的 14 0℃范围内 .其次 ,利用旋转涂布法在硅 (111)基片上通过 4 5 0℃退火处理制备了三氧化钼薄膜 .XRD和FTIR谱表明薄膜为α MoO3相 .SEM形貌像显示薄膜中晶粒分布均匀致密 ,在基片表面无择优取向 ;晶粒尺度范围在 0 .5~ 1μm之间 .

【Abstract】 A sol\|gel process was presented to prepare molybdenum oxide thin films. Molybdenum acetylacetonate sol\|gel was made by employing the system CH 3 COCH 2 COCH 3 /MoO 3 /C 6 H 5 CH 3 /HOCH 2 CH 2 OCH 3 . Thermal gravimetry and differential thermal analyses (TG\|DTA) on gel suggest that MoO 3 crystallize around 508 ℃ covering a range of 140 ℃. MoO 3 films were prepared on Si(111) substrates by spin coated method in oxygen environment at 450 ℃. X\|ray diffraction (XRD) and FTIR spectra for as\|prepared film confirm that MoO 3 films are α\|MoO 3 phase. SEM investigations show that random\|oriented and densely packed MoO 3 grains films have been obtained and the longitudinal dimension of crystallites is between 0.5 to 1 μm.

【关键词】 溶胶凝胶三氧化钼薄膜
【Key words】 sol\|gel processmolybdenum oxidethin films
【基金】 国家自然科学基金资助课题 (5 9872 0 2 3 )
  • 【文献出处】 武汉大学学报(理学版) ,Wuhan University Journal(Natural Science Edition) , 编辑部邮箱 ,2002年05期
  • 【分类号】O484.1
  • 【被引频次】22
  • 【下载频次】1200
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