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改建CVD系统制备金刚石薄膜

Rebuilding CVD system for preparing diamond films

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【Author】 WU Xiao guo,QU Chang qing,ZHU Ning,CHEN Xi ming,CHANG Ming (Dept.of Opto.Electronic Information and Electronic Eng.,Tianjin Institute of Technology,Tianjin 300191,China)

【机构】天津理工学院光电信息与电子工程系；天津理工学院光电信息与电子工程系天津300191；天津300191；天津300191；

【摘要】用一台常规的真空镀膜机改建为化学气相沉积 (CVD)系统 ,并用以制备金刚石薄膜 .采用SEM、XRD、Raman测试表明 ,金刚石薄膜质量较好 .更多还原

【Abstract】 Chemical Vapor Deposition (CVD) system with vacuum plating equipment was rebuilt,and in the prepareation of diamond films by it.Results indicate that the films of the structure of diamond by using SEM,XRD,Ramam is better.更多还原

【关键词】化学气相沉积(CVD)；金刚石薄膜； Raman光谱； X射线衍射；
【Key words】 chemical vapor deposition(CVD)； diamond film； raman； XRD；

【基金】国家教育部重点基金资助项目 (0 0 134) ;天津自然科学基金重点资助项目 (0 0 380 0 2 11)

【文献出处】天津理工学院学报 ,Journal of Tianjin Institute of Technology , 编辑部邮箱 ,2002年02期

【分类号】TN304.055
【被引频次】3
【下载频次】73

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