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氢等离子体处理对GaAs/AlGaAs超晶格材料性能的影响

INFLUENCE OF H~+ PLASMA ON THE PROPERTIES OF GaAs/AlGaAs SUPER-LATTICES GROWN BY MOCVD

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【作者】 王卿璞张德恒薛忠营程兴奎

【Author】 WANG Qing pu, ZHANG De heng, XUE Zhong ying & CHENG Xing kui (School of Physics and Microelectronics, Shandong University, Jinan 250100, China)

【机构】 山东大学物理与微电子学院山东大学物理与微电子学院 济南250100济南250100济南250100

【摘要】 在利用MOCVD方法制备的调制掺杂GaAs/AlGaAs多量子阱超晶格材料中 ,由于深能级杂质形成的非辐射复合中心的存在 ,使样品具有较大的暗电流并削弱了该材料的光致发光强度 .样品经过氢等离子体处理后 ,其光电性质明显改善

【Abstract】 In the GaAs/AlGaAs MQW super lattices grown by MOCVD, the existence of deep energy level of produced by non radiation recombination centers makes samples have large dark current and weak photoluminescence. The electrical and optical properties can be obviously improved for the samples after H + treatment.

  • 【文献出处】 山东大学学报(理学版) ,Journal of Shandong University(Natural Science) , 编辑部邮箱 ,2002年03期
  • 【分类号】TN304
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