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400nm～2000nm椭偏光谱仪的研究

Preparation of 400 nm～2000 nm Spectroscopic Ellipsometer

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【Author】 DU Quan,GUO Jian jun (Dept.of Electronic and Electrical Engineering of Sichuan University of Science and Technology, Chengdu 610039 Sichuan China)

【机构】四川工业学院电子信息与电气工程系；四川工业学院电子信息与电气工程系四川成都6100039；四川成都6100039；

【摘要】建立了计算机自动控制测量 40 0nm～ 2 0 0 0nm椭偏光谱仪系统。经过实验检验了系统的重复性及准确度 ,证明系统可用于高精度薄膜厚度的检测更多还原

【Abstract】 A highly PC-controlled 400 nm～2 000 nm Spectroscopic ellipsometer was introduced. This system was tested and proved to be reliable and was applied in the thin film testing with high precision.更多还原

【关键词】椭偏光谱仪；薄膜检测；近红外椭偏光谱；
【Key words】 spectroscopic ellipsometer； thin film testing； near IR spectroscopic ellipsometry；

【文献出处】四川工业学院学报 ,Sichuan University of Science and Technology , 编辑部邮箱 ,2002年04期

【分类号】TH744
【被引频次】4
【下载频次】84

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