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基于Sb掩膜的只读式超分辨光盘
【摘要】 采用Sb掩膜层代替Al反射层,在激光波长为632.8nm和数值孔径为0.40的光盘动态测试装置上实现了直径为380nm的超分辨记录点的读出.得到了Sb薄膜厚度对只读式超分辨光盘的读出信号强度的影响规律.同时发现Sb为28～30nm时超分辨记录点的读出信号强度最高达38～40dB.
【基金】 国家自然科学基金（批准号:59832060）;国家重点基础研究规划基金（批准号:19990330）;上海市应用物理研究中心基金资助项目
- 【文献出处】 科学通报 ,Chinese Science Bulletin , 编辑部邮箱 ,2002年12期
- 【分类号】TP333.4
- 【被引频次】1
- 【下载频次】40