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有机薄膜场效应晶体管的研制

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【机构】清华大学化学系；清华大学化学系北京　100084；北京　100084；北京　100084；

【摘要】采用聚四氟乙烯充当绝缘材料,利用全蒸镀法制备得到了有机薄膜场效应晶体管.源极和漏极采用氧化铟锡,半导体层和绝缘层分别由铜酞菁和聚四氟乙烯充当,栅极采用银电极.在利用光刻制备沟道长度为50μm的源极和漏极后,依次真空沉积铜酞菁层、聚四氟乙烯层和银层,得到器件的电子迁移率为1.1×10^-6cm²·（V·s）^-1,开关电流比大于500.更多还原

【关键词】有机薄膜晶体管；铜酞菁；聚四氟乙烯；

【文献出处】科学通报 ,Chinese Science Bulletin , 编辑部邮箱 ,2002年08期

【分类号】TN32
【被引频次】17
【下载频次】561

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