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微晶玻璃低温抛光表面微观形貌的研究
STUDY ON THE SURFACE MICRO TOPOGRAPHY OF CRYOGENIC POLISHED CERAMIC GLASS
【摘要】 揭示了微晶玻璃的内部微观结构、其组成成分的结晶相和玻璃相、晶粒尺寸的测定，重点分析了超精密低温抛光后微晶玻璃的表面形貌和表现出来的微观表面缺陷。
【Abstract】 The internal micro structure of ceramic glass, the crystalline phase and glass phase of its composition and the measurement for the crystalline size are revealed. Besides that, the surface topography and the micro surface flaw of the ultra-precision cryogenic polished ceramic glass are especially analyzed.
【关键词】 微晶玻璃；
抛光；
结晶相；
玻璃相；
表面形貌；
表面粗糙度；
【Key words】 Ceramic glass Polishing Crystalline phase Glass phase Surface topography Surface roughness；
【Key words】 Ceramic glass Polishing Crystalline phase Glass phase Surface topography Surface roughness；
【基金】 国家自然科学基金资助项目（59775072）
- 【文献出处】 机械工程学报 ,Chinese Journal of Mechanical Engineering , 编辑部邮箱 ,2002年01期
- 【分类号】TH706
- 【被引频次】28
- 【下载频次】436