【摘要】 微器件的装配并不是一个新兴的领域 ,但随着微加工技术、显微技术和集成电路技术的发展 ,微装配概念发生了根本性的变化 ,产品的范围和应用领域被拓宽 ,出现了许多新的技术 ,它的发展是与微机电系统 (MEMS)、纳米技术 (Nanotechnology)密切相关的。本文对微装配技术的发展现状进行了综述 ,介绍了微装配的特点和使用的许多新技术更多还原

【Abstract】 Assembly of microparts is not a new field, but with the development of micro machining and microscope and integrated circuit technology, the concept of microassembly is changing radically, and a lot of new technology appear, the development of microassembly is related to MEMS and nanotechnology. This paper describes the actuality of microassembly and presents a lot of new technology on microassembly.更多还原