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磁盘伺服图形光刻机主轴稳速系统设计

The Design of the Spindle Speed Stablization System for the Disc Ser vo Photo Optical Etching Machine

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【Author】 Wang Xiaolan Luo Gan Wang Yuehuan(College of Computer,Huazhong University of Sci.and Tech.,Wuhan430074)

【机构】华中科技大学计算机学院；华中科技大学计算机学院武汉430074；武汉430074；武汉430074；

【摘要】该文叙述了影响磁盘伺服图形光刻机主轴转速误差的主要来源,分析了主轴稳速系统是实现光刻机均匀刻录不可缺少的重要环节,提出了提高主轴稳速精度具体设计方案。更多还原

【Abstract】 In this paper,the main courses of speed error of the spindle system for the disc servo photo etching machine are discussed,and the spindle speed stablization system is proved to be an important port to make the machine etching evenly.On those,a detailed design for improving the precision of spindle speed stablization is proposed.更多还原

【关键词】光刻机；稳速精度；单片机控制；
【Key words】 Optical etching machine； Precision of speed stablization； Single chip microcomputer control；

【基金】国家自然科学重点基金项目资助(编号:69133020)

【文献出处】计算机工程与应用 ,Computer Engineering and Applications , 编辑部邮箱 ,2002年07期

【分类号】TP333.3
【下载频次】44

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