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薄膜热释电红外探测器吸收和响应性能的模拟研究

The Simulation of Absorptance and Response Characteristics for Pyroelectric Thin Films Infrared Sensors

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【作者】 陈实刘梅冬曾亦可李楚容夏冬林

【Author】 CHEN Shi,LIU Mei-dong, ZENG Yi-ke,Li Chu-rong,XIA Dong-ling (Department of Electronic Science & Technology, Huazhong University of Science & Technology, Wuhan, 430074, China)

【机构】 华中科技大学电子科学与技术系华中科技大学电子科学与技术系 湖北武汉430074湖北武汉430074

【摘要】 采用吸收、热传导和热释电响应模型 ,对薄膜热释电红外探测器的吸收和响应性能进行了模拟研究。当膜系中各膜层材料的物性参数确定时 ,对于不同波长的红外辐射及在不同的调制频率下 ,探测器主要性能的优劣与探测系统的结构设计密切相关

【Abstract】 For pyroelectric thin films infrared sensors, the simulation of absorptance and response characteristics has been made using optical, thermal and pyroelectric models. When the physical parameters of the multilayer system components are definite, the design of the sensor system structure has remarkble influence on the sensor performances as response to the incident infrared radiation with various wavelengths and at different modulation frequency.

【关键词】 薄膜热释电红外探测器模拟
【Key words】 thin filmspyroelectricinfrared sensorssimulation
  • 【文献出处】 红外技术 ,Infrared Technology , 编辑部邮箱 ,2002年02期
  • 【分类号】TN219
  • 【被引频次】9
  • 【下载频次】225
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