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激基激光对铜膜印刷板表面微细蚀刻的初期化过程

PRELIMINARY PROCESS OF MICRO-ETCHING ON THE SURFACE OF COPPER THIN FILM OF CIRCUIT BOARD WITH EXCIMER LASER

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【作者】 吴鼎祥；

【Author】 Wu Dingxiang Shanghai University 200436

【机构】 上海大学物理系 祁翔路99号200436；

【摘要】 用 Kr F激基激光 ,在稀释的 Cl2 气体中对镀有铜膜的印刷板进行微细蚀刻的初期化过程

【Abstract】 The preliminary process carried out on the micro etching on the surface of copper thin film of circuti board in diluting chlorine gas with KrF Excimer laser are described.

【关键词】 激基激光； 微细蚀刻； 初期化过程；
【Key words】 Excimer laser； Micro etching； Preliminary process；
  • 【文献出处】 光子学报 ,Acta Photonica Sinica , 编辑部邮箱 ,2002年06期
  • 【分类号】TS803
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】41
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