【摘要】 简要分析了微电子机械系统建模仿真的原因,指出了微电子机械建模仿真需要克服的四个方面技术难题,即尺度效应、开发快速的表面力计算方法、多物理场耦合分析、宏模型的建立,为微电子机械系统的建模仿真指明了研究方向。详细分析了微电子机械系统建模仿真的技术关键,多物理场耦合计算的理论方法和器件及系统宏观模型的建立,介绍了用于MEMS系统级模拟仿真的宏模型建立的几种方法,最后结合硬件描述语言VHDL＿AMS提出了建立微电子机械系统模型实现系统级模拟的方法。更多还原

【Abstract】 This paper analyzes the reason for modeling and simulation of MEMS briefly.There are four difficulties i.e.,microscale effect,fast algorithms of surface force,multiple physics fields coupling algorithms,and development of macromodel of MEMS or microdevice in modeling and simulation of MEMS.Their key technologies are analyzed in detail.Several current methodologies of system_level modeling and simulation of MEMS are introduced. The method of modeling MEMS with the aid of VHDL_AMS is finally proposed.更多还原