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用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台

High precision 3-D stage for synchrotron radiation beamline engineering

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【Author】 XIA Shao_jian1, ZHANG Yao_ming2, ZOU Li_xin2(1.Shanghai Institute of Nuclear Research, Academy of Sciences, Shangha 201800;2.Suzhou University, Suzhou 215006, China)

【机构】中国科学院上海原子核研究所；苏州大学现代光学技术研究所；苏州大学现代光学技术研究所上海201800；江苏苏州215006；江苏苏州215006；

【摘要】介绍了用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台结构原理,其特点是:结构紧凑,承载量大,精度高;采用步进电机驱动实现三维精密运动,并通过数字电路与软件实现其智能化,同时备有手动工作模式。更多还原

【Abstract】 This paper briefly introduces the structural principle of a special 3_D stage for synchrotron radiation beamlines. The characteristics include compact structure, heavy load and high precision. It is step motor driven and digitally controlled by software in a PC. A manual operation mode is also reserved.更多还原

【关键词】同步辐射；光束；三维精密平台；
【Key words】 synchrotron radiation； beamline； 3_D precision stage；

【基金】国家重点工程项目＿上海同步辐射装置工程预制研究项目;苏州大学现代光学技术省重点实验室开放课题(No.T2108106)

【文献出处】光学精密工程 ,Optics and Precision Engineering , 编辑部邮箱 ,2002年06期

【分类号】TH744
【被引频次】5
【下载频次】106

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