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氢水平衡法制备二氧化钒薄膜及XPS能谱分析
Preparation of VO2 Thin Films by H2/H2O Equilibrium Method and XPS Analysis
【摘要】 采用溶胶 -凝胶法 ,结合氢水平衡还原处理得到了二氧化钒薄膜 ,对薄膜的 XPS能谱分析及对反应体系的热力学分析表明 ,氢水平衡还原处理是制备二氧化钒薄膜的一种可行方法
【Abstract】 VO 2 thin films were prepared by the sol gel method followed by the H 2/H 2O equilibrium reduction treatment. The films were analyzed by the X ray photoelectron spectrometry (XPS) techniques. The XPS results and the thermodynamic analysis show that the H 2/H 2O equilibrium method is a practical way to prepare VO 2 thin films.
【关键词】 溶胶-凝胶法；
氢水平衡法；
二氧化钒薄膜；
X射线光电子能谱；
【Key words】 Sol Gel Method； Hydrogen Water Equilibrium Treatment； Vanadium Oxide Thin Films； XPS.；
【Key words】 Sol Gel Method； Hydrogen Water Equilibrium Treatment； Vanadium Oxide Thin Films； XPS.；
- 【文献出处】 光谱实验室 ,Chinese Journal of Spectroscopy Laboratory , 编辑部邮箱 ,2002年06期
- 【分类号】O657.62
- 【被引频次】13
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