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工艺误差对EDG器件性能的影响
Effects of Fabrication Errors on the Performance of an EDG Demultiplexer
【摘要】 定量地分析了蚀刻衍射光栅 (EDG)波分复用 (WDM)器件的制作过程中存在的光栅槽面圆角、槽面倾斜以及槽面粗糙等工艺误差对器件性能、特别是插入损耗的影响。当圆角半径、槽面倾斜角和粗糙度分别为 1μm、1°和 40 nm时 ,相应产生的损耗为 1.7d B、0 .7d B和 1d B。
【Abstract】 Various errors during the fabrication of an etched diffraction grating(EDG),such as round corner,reflecting facet perpendicularity and reflecting facet roughness are discussed.The effects of these errors on the insertion loss of the EDG are analyzed.The numerical simulation results show that when the round corner radius,the deviation angle and the roughness are 1 μm,1° and 40 nm,the corresponding loss is 1.7 dB,0.7 dB and 1 dB respectively.
【关键词】 蚀刻衍射光栅(EDG)；
工艺误差；
插入损耗；
【Key words】 Etched Diffraction Grating(EDG)； Fabrication error； Insertion loss；
【Key words】 Etched Diffraction Grating(EDG)； Fabrication error； Insertion loss；
【基金】 浙江省科技计划重大项目基金资助项目(0 0 110 10 2 7);高等学校重点实验室访问学者基金资助项目 ([2 0 0 0 ] 12 3)
- 【文献出处】 光电子·激光 ,Journal of Optoelectronics.laser , 编辑部邮箱 ,2002年12期
- 【分类号】TN256
- 【被引频次】2
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