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硫化镉薄膜的XPS研究

X-ray Photoelectron Spectroscopy of Cadmium Sulfide Thin Films

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【Author】 Liu Gaobin Guo Jiang Feng Qing Liu Yajing Wang Wanlu Liao Kejun Department of Applied Physics, Chongqing University, Chongqing, 400044Institute of Information and Technology,Chengdu Science and Technology University, Chengdu, 610059 Key laboratory of

【机构】重庆大学数理学院应用物理系；成都理工大学信息工程学院；教育部光电技术及系统实验室；教育部光电技术及系统实验室重庆； 400044；重庆；成都； 610059；

【摘要】用XPS分析了CdS薄膜的结构。硫化镉薄膜是用化学沉积法制备的胶体颗粒,然后再通过真空蒸发法在平面玻璃上形成的多晶薄膜。XPS分析表明CdS薄膜中的Cd3d和S2P峰值均比块状CdS向高能方向偏移了10eV。这主要是由于表面效应所致。更多还原

【Abstract】 In this paper, the structure of CdS thin films was analyzed by XPS. The CdS grains were firstly prepared by CBD, then polycrystalline thin films of CdS were formed on the plane glass by vacuum evaporation. The XPS analysis showed that the values of Cd3d and S2p peak for films were shifted towards high energy, and greater than 10 eV as compared with the body CdS. This can be ascribed to the surface effect of CdS thin films.更多还原

【关键词】硫化镉；真空蒸发； X射线光电子能谱仪；
【Key words】 cadmium sulfide； vacuum evaporation； XPS；

【基金】国家863基金项目（2001AA513011）;光电技术系统教育部重点实验室资助课题

【文献出处】光电子技术 ,Optoelecfronic Technology , 编辑部邮箱 ,2002年03期

【分类号】TN304
【被引频次】21
【下载频次】382

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