节点文献

射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究

Study on Laser Scribing of Al2O3 Ceramic Substrate by RF CO2 Laser

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 候廉平； 陈陪峰； 陈清明；

【Author】 HouLianpingChenPeifengChenQingming(InstituteofLaserTechnology&Engineering,HUST,Wuhan,430074)

【机构】 华中科技大学激光工程研究院； 华中科技大学激光工程研究院 武汉430074； 武汉430074； 武汉430074；

【摘要】 分析了射频CO2激光陶瓷基板划片的机理及工艺参数选择的原则,通过数值模拟和实验,分析了脉冲频率、脉冲宽度、划片速度、辅助气压大小、离焦量等工艺参数对激光划片质量的影响。

【Abstract】 ThemechanismofscribingceramicsubstratebyRFCO2 laserandfundamentaloftechnicalpa-rameterschoiceareanalyzed.Bynumericalsimulateandexperiment,theinfluencesoffactorssuchasfrequencyofpulse,pulsewidth,scribingspeed,pressureofassistantaironthequalityoflaserscribingareinvestigated.

【关键词】 射频CO2激光器； 划片； 氧化铝陶瓷基片；
【Key words】 RFCO2 laser； scribing； Al2O3ceramicsubstrate；
  • 【分类号】TQ174
  • 【被引频次】5
  • 【下载频次】93
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)