节点文献
微机械加速度传感器性能的等效电学模拟
Equivalent Electrical Simulation of Micro Acceleration Sensor
【摘要】 建立了微机械电容式加速度传感器的等效电学模型 ,通过振动特性的等效电路模型分析了加速度传感器对正弦加速度信号 ,阶跃加速度信号 ,及存在反馈时的直流加速度信号的振动位移响应情况 ;利用压控电容模型分析了加速度传感器检测正弦加速度信号时的小电容检测电路的性能。模拟结果表明采用反馈可以拓宽加速度传感器的测量范围 ,利用等效电学模型可以优化接口电路的整体性能
【Abstract】 According to its equivalent electrical model, oscillating displacement responses of micro acceleration sensor to sinusoidal acceleration signal, step signal and constant acceleration signal with feedback are analysed and performance of interfacing circuit is simulated. Results show that measuring range is increased by feedback and performances of interfacing circuits may be optimized.
【关键词】 微机械加速度传感器；
等效电路模型；
压控电容模型；
模拟；
【Key words】 Micromachined acceleration sensor； Equivalent circuit model； Voltage controlled capacitor model； Simulation；
【Key words】 Micromachined acceleration sensor； Equivalent circuit model； Voltage controlled capacitor model； Simulation；
- 【文献出处】 电子机械工程 ,Electro-mechanical Engineering , 编辑部邮箱 ,2002年02期
- 【分类号】TP212
- 【被引频次】12
- 【下载频次】155