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YIG铁氧体单晶/薄膜生长工艺及成线技术
【摘要】 简要介绍了YIG铁氧体块状单晶和YIG单晶薄膜常见的生长方法,重点报道了助熔剂法和液相外延工艺,最后对YIG铁氧体块状单晶和单晶薄膜的科研工艺线建设提出了切实可行的方案。
- 【文献出处】 磁性材料及器件 ,Journal of Magnetic Materials and Deuices , 编辑部邮箱 ,2002年02期
- 【分类号】TM277.3
- 【被引频次】12
- 【下载频次】339
【摘要】 简要介绍了YIG铁氧体块状单晶和YIG单晶薄膜常见的生长方法,重点报道了助熔剂法和液相外延工艺,最后对YIG铁氧体块状单晶和单晶薄膜的科研工艺线建设提出了切实可行的方案。