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Al含量对Ti1-XAlXN涂层组织结构的影响
The Effect of Al Content on the Microstructure of Ti_ (1-X) Al_XN Coating
【摘要】 通过不同 Al含量的 Ti- Al粉末冶金靶 ,采用多弧离子镀技术制备了 Ti1 - XAl XN涂层。用 SEM、 XRD、 GAXRD以及 XTEM等手段研究了 Al元素对涂层组织结构的影响。研究表明 ,Ti Al N涂层呈柱状多晶组织 ,(Ti,Al) N为涂层的主要组成相 ;随着 Al含量的增加 ,涂层中的 (Ti,Al) N相减少 ,且其晶格常数降低。
【Abstract】 Ti 1 X Al XN coating was deposited by multi arc ion plating method with cast Ti Al alloy and hot press sintered Ti Al alloy used as the targets The microstructure of the coating and the mechanism were studied by SEM?XRD and XTEM The results show that the TiAlN coating has a polycrystalline columnar structure, it is mainly composed of (Ti,Al)N; The raise of Al content would decrease the formation and the lattice constant of (Ti,Al)N
【关键词】 多弧离子镀；
Ti1-XAlXN涂层；
组织结构；
(Ti,Al)N；
【Key words】 multi arc ion plating； Ti 1 X Al XN coating； microstructure； (Ti,Al)N；
【Key words】 multi arc ion plating； Ti 1 X Al XN coating； microstructure； (Ti,Al)N；
- 【文献出处】 材料工程 ,Journal of Materials Engineering , 编辑部邮箱 ,2002年08期
- 【分类号】TG174.4
- 【被引频次】43
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