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LiNbO₃薄膜的研究进展

Progress in Research on LiNbO3 Thin Films

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【Author】 WANG Xinchang YE Zhizhen(State Key Laboratory of Silicon Material ,Zhejiang University ,Hangzhou 310027)

【机构】浙江大学硅材料国家重点实验室；浙江大学硅材料国家重点实验室杭州 310027；杭州 310027；

【摘要】 LiNbO₃薄膜具有优良的压电、热释电、声光及非线性光学特性,在光电子学及集成光学等领域有许多重要应用。着重介绍LiNbO₃的结构、性质与薄膜制备技术,以及在光通信领域中的应用。更多还原

【Abstract】 LiNbO3 thin films have excellent piezoelectric,acousto-optic and nonlinear optical properties.Theyhave many important applications in some fields such as optoelectronics and integrated optics.This paper places emphasis on the structure,properties and fabrication of L1NbO3 thin films as well as their applications in optical communication.更多还原