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一种新型的光学增透膜——DLC及改性DLC薄膜

A New Type of Antireflection Film:DLC and Doped DLC Film

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【作者】 孙增辉乔学亮程宇航

【Author】 SUN Zenghui QIAO Xueliang CHENG Yuhang(Department of Materials Science and Engineering,Huazhong University of Science and Technology,Wuhan 430074)

【机构】 华中科技大学材料学院华中科技大学材料学院 武汉 430074武汉 430074武汉 430074

【摘要】 光学增透薄膜是一种很重要的光学材料,传统的MgF2和ZnS增透膜具有强度低的缺陷,已经不能满足现代科技进步的需要。回顾了近年来关于DLC薄膜和CN薄膜光学性能的研究情况,讨论了改性的DLC薄膜用做增透膜的可行性。从理论和实践两个方面进行了探讨,结果表明DLC薄膜和CN薄膜在光学增透领域具有广阔的应用前景。

【Abstract】 Antireflection thin film is one very important kind of material in optical field,but traditional an-tiref lection films such as MF2 and ZnS have some shortcomings,making them fall short of meeting today’s requirements.We here give a review of progress in the DLC and CN film research and discuss possibilities of using the film as antireflection thin film in some fields.In theoretical and practical terms,we conclude that there are good prospects for these films to be used as antireflection film.

【关键词】 光学增透DLC薄膜CN薄膜
【Key words】 antireflectionDLC filmCN film
【基金】 总装备部国防预研基金;武汉市晨光基金
  • 【分类号】TB43
  • 【被引频次】8
  • 【下载频次】421
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