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一种新型的光学增透膜——DLC及改性DLC薄膜  
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【英文篇名】 A New Type of Antireflection Film:DLC and Doped DLC Film
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【作者】 孙增辉; 乔学亮; 程宇航;
【英文作者】 SUN Zenghui QIAO Xueliang CHENG Yuhang; (Department of Materials Science and Engineering; Huazhong University of Science and Technology; Wuhan 430074);
【作者单位】 华中科技大学材料学院; 华中科技大学材料学院 武汉;
【文献出处】 材料导报 , Materials Review, 编辑部邮箱 2002年 05期  
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 光学增透; DLC薄膜; CN薄膜;
【英文关键词】 antireflection; DLC film; CN film;
【摘要】 光学增透薄膜是一种很重要的光学材料,传统的MgF_2和ZnS增透膜具有强度低的缺陷,已经不能满足现代科技进步的需要。回顾了近年来关于DLC薄膜和CN薄膜光学性能的研究情况,讨论了改性的DLC薄膜用做增透膜的可行性。从理论和实践两个方面进行了探讨,结果表明DLC薄膜和CN薄膜在光学增透领域具有广阔的应用前景。
【英文摘要】 Antireflection thin film is one very important kind of material in optical field,but traditional an- tiref lection films such as MF2 and ZnS have some shortcomings,making them fall short of meeting today's requirements.We here give a review of progress in the DLC and CN film research and discuss possibilities of using the film as antireflection thin film in some fields.In theoretical and practical terms,we conclude that there are good prospects for these films to be used as antireflection film.
【基金】 总装备部国防预研基金; 武汉市晨光基金
【分类号】 TB43
【正文快照】 0 前言 自从20世纪30年代MgF、z增透膜被发明以来,化合物增透薄膜材料以惊人的速度发展,应用量迅速增加,使用范围也有了很大扩展,增透的理论也有了很大发展【“。但是,就常用的增透薄膜材料MgF、z和ZnF’来说,本身有着很多不可克服的缺陷,比如强度比较低、耐磨损性能差、容易潮

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