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用于半导体气体传感器的程控标定系统

Programmable calibration system for semiconductor gas sensors

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【作者】 任术波唐祯安蒋国平张洪泉范茂军

【Author】 REN Shu-bo 1, TANG Zhen-an 1, JIANG Guo-ping 1,ZHANG Hong-quan 2, FAN Mao-jun 2 (1.Coll of Elct and Info Engin,Dalian University of Technology,Dalian 116023,China; 2.The 49th Research Institute of the Electronics,Ministry of Information Industry, Har

【机构】 大连理工大学电子与信息工程学院信息产业部电子第49研究所信息产业部电子第49研究所 辽宁大连116023辽宁大连116023黑龙江哈尔滨150001黑龙江哈尔滨150001

【摘要】 组建了一套用于半导体气体传感器的程控标定系统。该系统使用一台四路输出的程控直流电源对半导体气体传感器进行编程加热 ,计算机控制质量流量计实现低体积分数被测气体的精确配气并实时采集传感器的响应信号。该系统可对由四支气体传感器构成的阵列进行多种工作模式的标定。

【Abstract】 A programmable calibration system for semiconductor gas sensors is constructed,in which a programmable DC power supply with four output channels is used to heat up gas sensors.A computer is used to control MFCs to accurately offer testing gases in low concentrations,and to collect the responses of gas sensors in real time.The system can calibrate a sensor array consisted of four sensors operated in different model at the same time.

【基金】 国家自然科学基金项目 ( 5 9995 5 5 0 -5 ) ;86 3预启动项目 ( 86 3-MEMS -10 1-0 3-0 1)
  • 【文献出处】 传感器技术 ,Journal of Transducer Technology , 编辑部邮箱 ,2002年08期
  • 【分类号】TP212
  • 【被引频次】10
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