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X射线三轴晶衍射法测量半绝缘GaAs单晶的化学配比

Stoichiometry in SI-GaAs Bulk Materials by Triple Axis Mode X-Ray Diffraction Measurements

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【作者】 黎建明; 屠海令; 胡广勇; 王超群; 郑安生; 钱嘉裕;

【Author】 Li Jianming,Tu Hailing,Hu Guangyong,Wang Chaoqun,Zheng Ansheng and Qian Jiayu(National Engineering Research Center for Semiconductor Materials,General Research Institute for Non Ferrous Metals,Beijing 100088,China)

【机构】 北京有色金属研究总院国家半导体材料工程研究中心; 北京有色金属研究总院;

【摘要】 采用 X射线三轴晶衍射法 ,根据 As间隙原子对作为过量 As在 Ga As单晶材料中存在的主要形式的模型 ,可以无损、高精度测量半绝缘 Ga As单晶的化学配比 .并探讨了引起晶格变化的原因及其与熔体组分的关系 ,对于制备高质量 Ga As单晶及其光电器件具有重要的意义 .

【Abstract】 The lattice parameters of SI GaAs are accurately measured by triple axis mode X ray diffraction method.The stoichiometry in SI GaAs bulk materials is calculated based on the model of the interstitial pairs for describing excess arsenic in GaAs.Triple axis mode X ray diffraction measurements are non destructive and high precision.The reasons of affecting the lattice parameters of SI GaAs are discussed.

  • 【文献出处】 半导体学报 ,Chinese Journal of Semiconductors , 编辑部邮箱 ,2002年11期
  • 【分类号】TN304.07
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】82
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