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一种新颖结构紧凑的AWG器件(英文)
A Novel Compact-Structure Arrayed-Waveguide Grating Device
【摘要】 给出一种基于 SOI材料结构紧凑的新颖 AWG器件 ,它是将一个全内反射波导镜插入原波导阵列中间 ,并且利用全内反射时产生的相位差进行 TE、TM模偏振补偿的方法 ,该器件具有尺寸小、制作工艺简单等特点 .同时 ,给出一些实验结果 ,实验结果证实这种结构的 AWG器件是可行的
【Abstract】 Arrayed waveguide grating (AWG) device,a novel compact structure,is presented based on silicon on insulator (SOI) material.A total internal reflection (TIR) waveguide mirror is fabricated at the middle of each arrayed waveguide.An approach of compensating TE TM mode polarization is presented by using the phase difference,which is caused by TIR at the waveguide mirror.This AWG device has advantage for its small size and simple technigue of fabrication.The experimental results are given and the feasibility of fabrication is tested.
【关键词】 列阵波导光栅(AWG)；
密集波分复用(DWDM)；
波导镜；
偏振补偿；
【Key words】 AWG； DWDM； waveguide mirror； polarization compensation；
【Key words】 AWG； DWDM； waveguide mirror； polarization compensation；
【基金】 国家重点基础研究发展规划项目 (编号 :G19990 3 3 10 4);教育部高校骨干教师基金资助项目
- 【文献出处】 半导体学报 ,Chinese Journal of Semiconductors , 编辑部邮箱 ,2002年06期
- 【分类号】TN814.6
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