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BPM方法在SOI结构中的应用

Beam Propagation Method and Its Application in SOI Structures

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【作者】 张小峰余金中王启明魏红振

【Author】 Zhang Xiaofeng,Yu Jinzhong,Wang Qiming and Wei Hongzhen(State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,Institute of Semiconductors, The Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China)

【机构】 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室 北京100083北京100083北京

【摘要】 采用交错隐式算子分裂 (ADI)算法 ,设计、实现了一种高速、高精度的波束传播方法 (BPM)来模拟 SOI波导中不同偏振态的光传输 ,研究了 PML 边界层的选取对虚传播计算基模和基模传播常数的影响 ,给出了大光腔 SOI波导结构不同偏振的基模传播常数

【Abstract】 A fast and accurate ADI BPM program is implemented to simulate the optical transimission at different polarizations.Influence of the selection of PML boundary profile on the base mode field distribution and the base mode propagation constant is investigated.The base mode propagation constant at the different polarizations for the SOI structure waveguides is given.

【关键词】 BPM方法ADI方法PML边条件SOI结构光开关虚传播方法最小残差方法
【Key words】 BPMADIPMLSOIopto switchesimaginary distanceGMRES
【基金】 国家自然科学基金(批准号 69990 5 40及 698962 60 -0 6);科技部 973资助项目 (合同号 G2 0 0 0 0 3 66)~~
  • 【文献出处】 半导体学报 ,Chinese Journal of Semiconductors , 编辑部邮箱 ,2002年02期
  • 【分类号】TN405
  • 【被引频次】1
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