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气体质量流量与压力的测量和控制
The Measurement and Control of Gas Mass Flow and Pressure
【摘要】 本文介绍气体质量流量的测量和控制及微压传感器的原理及应用。
【Abstract】 In this paper, the measurment and control of gas mass flow and the principle and applications of micro-pressure sensor are presented in detail.
【关键词】 质量流量；
气体流量计；
质量流量控制器；
微压传感器；
【Key words】 Mass flow Gas mass flowmeters Mass flow controllers Micro-pressure sensor；
【Key words】 Mass flow Gas mass flowmeters Mass flow controllers Micro-pressure sensor；
- 【文献出处】 中国仪器仪表 ,China Instrmentation , 编辑部邮箱 ,2001年S1期
- 【分类号】TH814
- 【被引频次】4
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